Elipsometria é uma técnica óptica muito sensível que fornece recursos inigualáveis para a metrologia película fina. Elipsometria explora informações de fase e estado de polarização da luz e assim pode alcançar resolução nível angstrom. As principais vantagens da elipsometria é seu caráter não-destrutivo, alta sensibilidade e ampla faixa de medição.

Os parâmetros ópticos como índices de refracção e de espessura de uma película fina pode ser determinada precisamente por esta técnica. No modelo de elipsometria NO: HO-ED-P15, uma luz polarizada circularmente é feita incidente sobre o substrato de teste e a luz refletida que é linearmente polarizada é analisado para alterações de polarização.

No modelo de elipsometria NO: HO-ED-P15, uma luz polarizada circularmente é feita incidente sobre o substrato de teste e a luz refletida que é linearmente polarizada é analisado para alterações de polarização.

O aparelho é composto de dois braços rotativos concentricamente em torno de um disco precisamente formou fixo a uma base pesada. A fonte de laser é realizada em um braço e o conjunto detector no outro braço. O disco graduado tem uma escala e resolução de 0,1 alcançado através de uma Vernier. Fontes de alimentação para fonte de laser e detector são colocados separadamente. Polarizador, analisador e placa de quarto de onda são realizadas em estágios rotativos de precisão no caminho óptico com graduação precisas tendo 0~360° e 0,1 resolução. Glan-Thompson Prismas são usadas tanto para polarizador e analisador.

Amostra é colocada em um vertical de estágio precisão micrômetro conduzido com regulação da altura de 10 mm e resolução de 0,01 mm. O ângulo de incidência para a fonte de laser pode ser ajustado entre 30° e 90°. Para o método nulo, detector pode ser substituído com um ecrã em miniatura para determinação visual do ponto nulo, se necessário.

Especificação

          Faixa de Medição 1 nm ~ 300 nm

          Ângulo de incidência de 30 ° ~ 90 °, de erro de 0,1 °

Rotação Gama

          Polarizador 0 ° ~ 360 °

          Quarter-Wave 0 ° ~ 360 °

          Resolução de 0,1 graus

          Laser DPSS (532nm, 5mW)

Braço Laser

          Rotação Intervalo de 70 graus (do plano horizontal)

          Principal divisão de escala de 1 grau

          Resolução de 0,1 graus

Detector

          Tipo: Si fotodiodo

          Área ativa 5.8 x 5.8 mm

Braço detector

          Rotação Intervalo de 70 graus (do plano horizontal)

          Principal divisão de escala de 1 grau

          Resolução de 0,1 graus

Porta amostra

          Regulação da altura 10 mm

          Conduzir Resolução 10 microns

          Inclinando Faixa +/- 2 graus