Nosso sistema padrão vem com lâmpada de quartzo-halogênio por visível através gama IR. Nosso software espectroscópica elipsometria permite ao usuário medir e analisar filmes finos nas multicamadas e estruturas complexas de película fina.

Um plataformas autocolimador, fase Z e inclinação são fornecidos para o alinhamento da amostra XY platina motorizada e estágios de rotação motorizados são fornecidos como um recurso opcional para o mapeamento uniformidade película fina.

Princípio da Elipsometria

Elipsometria é uma técnica altamente sensível para a análise de película fina. O princípio baseia-se nas alterações do estado de polarização da luz, enquanto refletindo a partir de uma superfície.

Para caracterizar o estado de polarização, o que corresponde à direção do campo eléctrico da onda eletromagnética; duas direções são escolhidos como referência, p-sentido (paralela) e S-sentido (perpendicular). A luz refletida tem mudanças de fase que são diferentes para p-sentido e s-sentido. Elipsometria mede esse estado de polarização.

Onde Ψ e Δ são a razão de amplitude e mudança de fase dos componentes P e S, respectivamente. A elipsometria, é para medir a proporção de dois valores muito preciso e reprodutível.

Características:

• Não-destrutivos e Sem contato técnico
• Análise de amostras simples e multicamada
• Medições precisas de filmes ultrafinos
• Software para medição, modelagem e operações automatizadas.
• Sensibilidade de medição uniforme para (Ψ, Δ)

Especificações

          Comprimento Spectral: 450 ~ 1000nm

          Detector: CCD

          Resolução: 2 nm

          Fonte de Luz: lâmpada de halogéneo

          Goniómetro: 40° ~ 90° (Resolução: 0,1°, operação automatizada)

          Espessura Faixa de medição: 0,1 nm - 10micron

          Resolução da espessura de filme: 0,01 nM

          Resolução de R.I medido .: 0,001

          Alinhamento de exemplo: (detecção óptica) Semi-automático com ajuste de altura manual de 10 mm e inclinação

          Características estágio da amostra: X-Y de tradução mais de 150 x 150 mm (opcional)

          Parâmetros de filme mensuráveis: Índice de refração, coeficiente de extinção, o coeficiente de absorção e espessura de filme

          Características de software: Aquisição e análise de psi, delta e refletância em diferentes comprimentos de onda e ângulos

          Usuário da biblioteca de materiais extensíveis

          Os dados podem ser salvos como um arquivo de texto Excel ou

          Algoritmo de ajuste matemático avançado

          Extração de espessura e constantes ópticas

          Modelos parametrizados

          Medição da espessura de camadas múltiplas